产品详情
产品名称：武汉定制半导体制造设备密封圈
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详情介绍：
半导体制造设备密封圈是以苯基硅橡胶为材质的环形密封件，具备优异的耐高低温性能（-120℃～300℃），适用于半导体设备高温工艺（如外延炉密封）和高洁净环境，压力0-300MPa，速度≤15m/s，适用介质包括液压油、气、水、酸碱等混合介质；压缩长久变形率低（250℃下70小时后≤8%），确保长期密封可靠性。
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