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  • 产品名称：武汉工业半导体设备密封圈

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半导体设备在蚀刻、沉积、清洗等工艺中，会涉及高温、强腐蚀性化学品和等离子体环境，对密封圈的性能要求极为严苛，全氟醚橡胶（FFKM）密封圈，这是一种高性能特种橡胶，因其优异的耐化学腐蚀性、耐高温性和洁净度，成为半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺中不可或缺的关键耗材。
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