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  • 产品名称：湖北供应半导体真空腔密封圈

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半导体真空腔密封圈是一种专用于半导体制造设备的高洁净度硅橡胶密封材料，具有优异的耐高低温性、低压缩长久变形率和超高真空密封性能，可在-60℃至250℃温度范围内长期稳定工作，短期耐温可达300℃，满足半导体设备高温工艺需求，压缩长久变形率小于10%，适用于超高真空环境（≤1×10⁻¹² Pa）。
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