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  • 产品名称：半导体制造密封件

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氟橡胶（FKM）是一种含氟原子的合成高分子弹性体，具有耐高温、耐油、耐化学腐蚀等特性，在半导体制造中主要用于设备密封件，但传统FKM在等离子体环境下易老化产生颗粒污染；当前半导体密封件主流材料为全氟醚橡胶（FFKM），性能更优但成本更高，国产化率仍在提升中。
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