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  • 產品名稱：半導體製造密封件

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詳情介紹：
氟橡膠（FKM）是一種含氟原子的合成高分子彈性體，具有耐高溫、耐油、耐化學腐蝕等特性，在半導體製造中主要用於設備密封件，但傳統FKM在等離子體環境下易老化產生顆粒汙染；當前半導體密封件主流材料為全氟醚橡膠（FFKM），性能更優但成本更高，國產化率仍在提升中。
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